Filmetrics® R54 Series

ภาพรวมผลิตภัณฑ์

Filmetrics R54 เป็นระบบล้ำสมัยที่ออกแบบมาเพื่อวัดและทำแผนที่ความต้านทานแผ่น (sheet resistance) และการนำไฟฟ้าของวัสดุมีประโยชน์อย่างยิ่งในอุตสาหกรรมที่พึ่งพาฟิล์มนำไฟฟ้า เช่น การผลิตเซมิคอนดักเตอร์และอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์แบบยืดหยุ่น

คุณสมบัติและประโยชน์หลัก

ระบบปิด:
ช่วยให้สามารถวัดตัวอย่างที่ไวต่อแสงหรือปัจจัยด้านสิ่งแวดล้อมได้

รองรับตัวอย่างขนาดใหญ่:
สามารถจัดการตัวอย่างที่มีเส้นผ่านศูนย์กลางสูงสุด 300 มม.

การกำหนดค่าการวัดที่หลากหลาย:
มีให้เลือกทั้งตัวเลือกการวัดแบบโพรบสี่จุด (Four-Point Probe - 4PP) และแบบกระแสไหลวนแบบไม่สัมผัส (Eddy-Current - EC)

ช่วงการวัดกว้าง:
สามารถวัดความต้านทานแผ่นในช่วงสิบเดคาด (ten-decade range) บนฟิล์มนำไฟฟ้าและกึ่งนำไฟฟ้า

การทำแผนที่แบบกำหนดเองได้:
ผู้ใช้สามารถกำหนดจุดวัดเฉพาะโดยใช้รูปแบบต่างๆ (สี่เหลี่ยมผืนผ้า เชิงเส้น เชิงขั้ว และแบบกำหนดเอง)

แท่นวางที่มีความแม่นยำสูง:
ติดตั้งแท่นวาง X-Y ที่แม่นยำเพื่อการวางตำแหน่งที่แม่นยำ

ขนาดจุดเล็ก:
การกำหนดค่า EC มีขนาดจุดเล็กที่สุดในอุตสาหกรรมสำหรับการวัดที่มีรายละเอียดสูง

ซอฟต์แวร์ที่ใช้งานง่าย:
มีอินเทอร์เฟซซอฟต์แวร์ที่ใช้งานง่ายเพื่อความสะดวกในการใช้งาน

ความเข้ากันได้:
ทำงานได้อย่างราบรื่นกับโพรบวัดความต้านทานแผ่น KLA ทั้งหมด