HYBRID NANOPROFILER (AFX-1000-3D)

ภาพรวมผลิตภัณฑ์

เครื่องวัดนาโนแบบ HYBRID NANOPROFILER (AFX-1000-3D) เป็นกล้องจุลทรรศน์แรงอะตอม (AFM) ประสิทธิภาพสูง ออกแบบมาสำหรับการกำหนดลักษณะและเมโทรโลยีพื้นผิวที่แม่นยำ ช่วยให้นักวิจัยตรวจสอบและวิเคราะห์ภูมิประเทศ ความขรุขระ และคุณสมบัติที่สำคัญอื่นๆ ของวัสดุต่างๆ ในระดับนาโนสเกล

ข้อมูลพื้นฐาน

ช่วงการเคลื่อนที่ของแท่นมอเตอร์ XY
(ความละเอียดของสเกลตะแกรงคือ 20 นาโนเมตร): 300 มม. × 300 มม.

• ช่วงการเคลื่อนที่ของแท่นมอเตอร์ Z (ความละเอียดของไม้บรรทัดตะแกรง 5 นาโนเมตร): 30 มม.
• ช่วงสแกนเนอร์โพรบ: 100um × 100um × 15um;
  
• สัญญาณรบกวนการควบคุมตำแหน่งแบบ closed-loop XY: 1 นาโนเมตร;
  
• สัญญาณรบกวนของเครื่องทั้งหมด (Z): 30pm;
  
• การวัดสเกลตามยาวและความขรุขระ: 3σ 0.01 นาโนเมตร;
  
• การวัดสเกลตามขวาง: 3σ 1 นาโนเมตร (หรือ 1% ช่วง);
  ความละเอียดของภาพสามารถเข้าถึง 2048 × 2048.

การใช้งานหลัก :

สามารถนำไปใช้กับรูปร่างพื้นผิวของชิ้นส่วนที่ผ่านการตัดเฉือนอย่างแม่นยำ รวมถึงเลนส์ออปติคัล กระจก และชิ้นส่วนโลหะที่มีขนาดต่างๆ กัน ตลอดจนการวัดความขรุขระความถี่กลางและสูง นอกจากนี้ยังสามารถใช้สำหรับการวัดความแม่นยำระดับนาโนสเกลของวัสดุต่างๆ ได้แก่ เวเฟอร์ วัสดุพอลิเมอร์ วัสดุสองมิติ ฯลฯ

ข้อมูลทางเทคนิค

หัววัดความแม่นยำสูง

• ช่วงสแกนเนอร์โพรบ: 100um × 100um × 15um
  สัญญาณรบกวนการควบคุมตำแหน่งแบบ closed-loop XY: 1 นาโนเมตร
• สัญญาณรบกวนของเครื่องทั้งหมด (Z): 30pm;
  
• สัญญาณรบกวนการตรวจจับการกระจัด: 40fm/Hz;

มีฟังก์ชั่นป้องกันการหยุดฉุกเฉิน ซึ่งสามารถกระตุ้นการหยุดฉุกเฉินเมื่อโพรบชนกับตัวอย่างโดยไม่ได้ตั้งใจและสภาวะอันตรายอื่นๆ เพื่อป้องกันโพรบและตัวอย่างเทคโนโลยีการเปลี่ยนเข็มโดยไม่ต้องปรับ

การวางตำแหน่งทางกลที่มีความแม่นยำสูงรวมกับเทคโนโลยีการดูดด้วยแม่เหล็กเพื่อให้เซ็นเซอร์โฟโตอิเล็กทริกของโพรบเลเซอร์มีการจัดแนวโดยอัตโนมัติ ไม่จำเป็นต้องปรับเส้นทางแสง

แพลตฟอร์มการสแกนแบบ Cross-scale (อุปกรณ์เสริม)

• ไดรฟ์มอเตอร์เชิงเส้น
• ช่วงชักโต๊ะสแกน: 20 มม.
• เสถียรภาพตามยาว: ±2 นาโนเมตร;
• ความละเอียดตะแกรง: 5 นาโนเมตร
• ความแม่นยำในการทำซ้ำ: 100 นาโนเมตร

คอนโทรลเลอร์ป้อนกลับ FPGA ความเร็วสูง

• มีความสามารถในการป้อนข้อมูลและเอาต์พุตสัญญาณอะนาล็อกที่มีความแม่นยำสูง
  แหล่งจ่ายไฟเชิงเส้นสำหรับสัญญาณรบกวนต่ำมาก
  
• มีช่องสัญญาณการรับข้อมูล การวิเคราะห์สัญญาณ ความสามารถในการแสดงผลและการจัดเก็บ 10 ช่องสัญญาณ
  

รองรับเอาต์พุตแรงดันไฟฟ้าแบบคลื่นไซน์ ช่วงความถี่ครอบคลุม DC-2MHz
ขั้นตอนการเพิ่มความถี่ 0.1Hz
อินเทอร์เฟซ IO ดิจิทัลรองรับการควบคุมมอเตอร์ 5 แกนที่มีความแม่นยำสูง

ตัวอย่างการใช้งาน

ความขรุขระ

การวัดสเกลหลัก 3 มิติของความขรุขระและรูปแบบ การวัดความแม่นยำของความขรุขระ (เมโทรโลยี) 3sigma สูงถึง 10pm; ความละเอียดตามยาวดีกว่า 30 pm และความละเอียดตามขวางขึ้นอยู่กับความคมชัดของโพรบความขรุขระแผ่น pSi และความละเอียดตามขวางของระบบสูงกว่า 0.1 นาโนเมตร

ความแม่นยำมิติ

การวัดความแม่นยำมิติ : รองรับการวัดมิติหลักของโครงสร้างร่องลึกอัตราส่วนภาพ 5:1 รวมถึง CD, LER, LWR รองรับ XY ไปจนถึงช่วงการสแกนสูงสุด: 100um*100um
ช่วงการวัดทิศทาง Z: 0.1nm-15um

Cross-scale

การวัดความแม่นยำอย่างต่อเนื่องของขั้นบันไดตั้งแต่ 0.1 นาโนเมตรถึง 1 มม. รวมถึงความขรุขระของผนังด้านข้าง และความละเอียดตามยาวระดับต่ำกว่านาโนเมตร คุณลักษณะนี้ใช้เทคโนโลยีที่จดสิทธิบัตรและโพรบที่เป็นเอกลักษณ์