ความสูงขั้นบันได

The Tencor P-7 benchtop stylus profiler is capable of measuring 2D and 3D step heights from nanometers to 1000µm. This enables quantification of material deposited or removed during etch, sputter, SIMS, deposition, spin coating, CMP and other processes. The Tencor P-7 has constant force control that dynamically adjusts to apply the same force on the sample surface, regardless of step height. This results in good measurement stability and enables accurate measurement of soft materials, such as photoresist.

พื้นผิว: ความขรุขระและความเป็นคลื่น

Tencor P-7 วัดพื้นผิว 2D และ 3D โดยวัดปริมาณความขรุขระและความเป็นคลื่นของตัวอย่าง ฟิลเตอร์ซอฟต์แวร์แยกการวัดออกเป็นส่วนประกอบความขรุขระและความเป็นคลื่น และคำนวณพารามิเตอร์ต่างๆ เช่น ความขรุขระ Root Mean Square (RMS)

รูปร่าง: ความโค้งและรูปร่าง

Tencor P-7 สามารถวัดรูปร่าง 2D หรือความโค้งของพื้นผิวได้ ซึ่งรวมถึงการวัดความโค้งของเวเฟอร์ที่อาจเกิดจากความไม่ตรงกันระหว่างชั้นต่างๆ ระหว่างการประดิษฐ์อุปกรณ์ เช่น การสะสมหลายชั้นสำหรับการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์หรือสารประกอบเซมิคอนดักเตอร์ เครื่องวัดความสูงพื้นผิวแบบตั้งโต๊ะ Tencor P-7 ยังสามารถวัดปริมาณความสูงและรัศมีความโค้งของโครงสร้างต่างๆ เช่น เลนส์ได้อีกด้วย

ความเค้น: ความเค้นฟิล์มบาง 2D และ 3D

เครื่องวัดความสูงพื้นผิว Tencor P-7 สามารถวัดความเค้นที่เกิดขึ้นระหว่างการผลิตอุปกรณ์ที่มีชั้นกระบวนการหลายชั้น เช่น อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์หรือสารประกอบเซมิคอนดักเตอร์ ความโค้งของพื้นผิวจะถูกวัดอย่างแม่นยำโดยใช้หัวจับความเค้นเพื่อรองรับตัวอย่างในตำแหน่งที่เป็นกลาง การเปลี่ยนแปลงรูปร่างจากกระบวนการ เช่น การสะสมฟิล์ม จะถูกใช้เพื่อคำนวณความเค้นโดยใช้สมการของ Stoney ความเค้น 2D จะถูกวัดด้วยการสแกนเดี่ยวผ่านเส้นผ่านศูนย์กลางตัวอย่างสำหรับตัวอย่างขนาดสูงสุด 200 มม. โดยไม่จำเป็นต้องเย็บภาพ ความเค้น 3D จะถูกวัดโดยใช้การสแกน 2D ร่วมกัน โดยที่แท่น theta จะหมุนระหว่างการสแกนเพื่อวัดพื้นผิวตัวอย่างทั้งหมด

1. ความสูงขั้นบันได: นาโนเมตร ถึง 1000µm

2. แรงต่ำพร้อมการควบคุมแรงคงที่: 0.03 ถึง 50 มก.

3. สแกนเส้นผ่านศูนย์กลางเต็มของตัวอย่างโดยไม่ต้องเย็บภาพ

4. วิดีโอ: กล้องสีความละเอียดสูง 5MP

5. การแก้ไขส่วนโค้ง: ขจัดข้อผิดพลาดเนื่องจากการเคลื่อนที่ส่วนโค้งของ Stylus

6. ซอฟต์แวร์: อินเทอร์เฟซซอฟต์แวร์ที่ใช้งานง่าย

7. ความสามารถในการผลิต: อัตโนมัติเต็มรูปแบบพร้อมการจัดลำดับ การจดจำรูปแบบ และ SECS/GEM

ตัวเลือก Stylus

Tencor P-7 มี Stylus ให้เลือกมากมายเพื่อรองรับการวัดความสูงขั้นบันได ขั้นบันไดอัตราส่วนภาพสูง ความขรุขระ ความโค้งของตัวอย่าง และความเค้น รัศมีปลายมีตั้งแต่ 100 นาโนเมตร ถึง 50µm และกำหนดความละเอียดด้านข้างของการวัด มุมรวมมีตั้งแต่ 20 ถึง 100 องศา ซึ่งระบุอัตราส่วนภาพสูงสุดของคุณสมบัติที่วัดได้ Stylus ทั้งหมดผลิตจากเพชรเพื่อลดการสึกหรอและเพิ่มอายุการใช้งานของ Stylus

หัวจับตัวอย่าง

Tencor P-7 มีหัวจับให้เลือกมากมายเพื่อรองรับความต้องการใช้งาน มาตรฐานคือหัวจับสุญญากาศอเนกประสงค์พร้อมหมุดระบุตำแหน่งที่มีความแม่นยำสำหรับตัวอย่างขนาด 50 ถึง 150 มม. หัวจับอเนกประสงค์รองรับการวัดความโค้งและความเค้นด้วยตัวระบุตำแหน่ง 3 จุดเพื่อรองรับตัวอย่างในตำแหน่งที่เป็นกลาง มีตัวเลือกเพิ่มเติมสำหรับตัวอย่างพลังงานแสงอาทิตย์และหัวจับอเนกประสงค์ 200 มม.

โต๊ะแยก

Tencor P-7 มีตัวเลือกโต๊ะแยกทั้งแบบตั้งบนโต๊ะและแบบตั้งพื้น Granite Isolator Series นำเสนอระบบตั้งบนโต๊ะที่รวมหินแกรนิตกับซิลิโคนเจลคุณภาพสูงเพื่อให้การแยกแบบ passive ระบบแยกแบบตั้งบนโต๊ะ Onyx Series ใช้ตัวแยกอากาศแบบ pneumatic เพื่อให้การแยกแบบ passive โต๊ะแยก TMC 63-500 Series เป็นโต๊ะโครงเหล็กแบบตั้งพื้นซึ่งใช้ตัวแยกอากาศแบบ pneumatic เพื่อให้การแยกแบบ passive

มาตรฐานความสูงขั้นบันได

Tencor P-7 ใช้มาตรฐานความสูงขั้นบันไดแบบฟิล์มบางและฟิล์มหนาที่ตรวจสอบย้อนกลับได้โดย NIST ซึ่งนำเสนอโดย VLSI Standards มาตรฐานมีขั้นบันไดออกไซด์บนไดซิลิคอนที่ติดตั้งบนบล็อกควอตซ์ หรือขั้นบันไดควอตซ์ที่กัดกรดพร้อมการเคลือบโครเมียม มีช่วงความสูงขั้นบันได 8 นาโนเมตร ถึง 250 ไมโครเมตร

Apex Analysis Software

ซอฟต์แวร์วิเคราะห์ Apex ช่วยเพิ่มขีดความสามารถในการวิเคราะห์ข้อมูลมาตรฐานของ Tencor P-7 ด้วยชุดเทคนิคการวิเคราะห์การปรับระดับ การกรอง ความสูงขั้นบันได ความขรุขระ และโทโพกราฟีพื้นผิวที่ขยายออกไป Apex รองรับวิธีการคำนวณความขรุขระ ISO รวมถึงมาตรฐานท้องถิ่น เช่น ASME Apex ยังสามารถใช้เป็นแพลตฟอร์มการเขียนรายงานโดยมีความสามารถในการเพิ่มข้อความ คำอธิบายประกอบ และเกณฑ์ผ่าน/ไม่ผ่าน Apex มีให้บริการในสิบเอ็ดภาษา

ซอฟต์แวร์วิเคราะห์ออฟไลน์

Tencor P-7 ใช้มาตรฐานความสูงขั้นบันไดแบบฟิล์มบางและฟิล์มหนาที่ตรวจสอบย้อนกลับได้โดย NIST ซึ่งนำเสนอโดย VLSI Standards มาตรฐานมีขั้นบันไดออกไซด์บนไดซิลิคอนที่ติดตั้งบนบล็อกควอตซ์ หรือขั้นบันไดควอตซ์ที่กัดกรดพร้อมการเคลือบโครเมียม มีช่วงความสูงขั้นบันได 8 นาโนเมตร ถึง 250 ไมโครเมตร

แอปพลิเคชันเว็บ ProfilmOnline

Filmetrics ProfilmOnline เป็นแพลตฟอร์มการแสดงภาพและการวิเคราะห์ข้อมูล 3 มิติบนคลาวด์ ซึ่งพัฒนาเป็นส่วนหนึ่งของชุดซอฟต์แวร์ Profilm ProfilmOnline เป็นที่สำหรับแบ่งปัน จัดเก็บ ดู และวิเคราะห์ข้อมูล 3 มิติ ไม่ว่าคุณจะอยู่บนคอมพิวเตอร์หรืออุปกรณ์มือถือ มีแอปสำหรับระบบปฏิบัติการ Android และ iOS และรองรับรูปแบบไฟล์ที่หลากหลาย ข้อมูลสามารถเข้ารหัสเพื่อความปลอดภัย

การจดจำรูปแบบ

การจดจำรูปแบบใช้รูปแบบที่สอนไว้ล่วงหน้าเพื่อจัดแนวตัวอย่างโดยอัตโนมัติ สิ่งนี้ช่วยให้การวัดอัตโนมัติเต็มรูปแบบเพื่อเพิ่มเสถียรภาพการวัดโดยลดผลกระทบจากข้อผิดพลาดของผู้ปฏิบัติงาน การจดจำรูปแบบร่วมกับการสอบเทียบขั้นสูงช่วยลดข้อผิดพลาดในการวางตำแหน่งแท่น และช่วยให้ถ่ายโอนสูตรระหว่างระบบได้อย่างราบรื่น

1. Universities, research labs, and institutes

2. Semiconductor and compound semiconductor

3. LED: Light emitting diodes

4. Solar

5. MEMS: Micro-electro-mechanical systems

6. Data storage

7. Automotive

8. Medical devices

9. And more: Contact us with your requirements