รายละเอียดคุณสมบัติ
วัสดุกรอบ
- ซิลิคอน, ความต้านทานต่ำหรือสูง
- ขนาด: 3.5mm x 3.8mm, 5mm x 5mm, 5mm x 7mm, หรือ 7mm x 9mm
พื้นที่เครื่องทำความร้อน
- 0.1mm ถึง 1.5mm รูปสี่เหลี่ยมหรือวงกลม
ขนาดเครื่องทำความร้อน
พื้นที่ตัวอย่าง
- ความหนา: 30nm ถึง 3000nm, SINx
- ตัวเลือก: รูหรือช่องบนเมมเบรน
ขนาดรูหรือบ่อตัวอย่าง
ความเข้ากันได้ของตัวอย่าง
- ผงไมโครและนาโน, ฟิล์มบางที่เคลือบ, FIB Lamellae, ตัวอย่างที่หยดหรือพ่นเคลือบ